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什么是FIB#xff1f;FIB星球名芯片制造与封测技术社区星球号63559049里的学员问聚焦离子束显微镜是运用镓Ga金属来做为离子源为什么什么是FIBFIB全名Focused Ion Beam聚焦离子束在芯片制造中十分重要。主要有四大功能结构切割线路修改观察TEM制样等。为什么用金属镓做离子源镓的熔点为 29.76°C在室温稍高的条件下即为液态这使其非常适合操作。液态镓的蒸气压非常低10^-13 Torr即使在高真空环境下也能保持稳定不易挥发而污染真空腔。表面张力高可以稳定地形成 Taylor cone从而精确地提取离子。亮度高束斑尺寸小通常小于 10 nm加工精度高。等等镓离子束是如何产生的如上图液态镓存储在储存器Ga Reservoir中通过线圈heater wires加热使镓保持液态。液态镓通过毛细作用流向 W针尖W needle 的表面在钨针尖和提取电极之间施加数十千伏的强电场电场会集中在针尖处使液态镓受到电场力拉伸。液态镓在电场的作用下被拉伸成一个非常小的曲率半径的锥形Taylor cone在Taylor cone的尖端液态镓的原子被强电场游离形成镓离子离子以初始发射角约为 50°的角度射出经过下游的电磁透镜聚焦最终形成一个高亮度、高精度的高斯分布束斑Gaussian Profile即聚焦离子束。